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专利:微小孔径金刚石涂层拉丝模装置

http://www.momo35.com   来源:中国超硬材料网  日期:2014/02/13

申请号:201320313241


  申请人:中国工程物理研究院总体工程研究所四川中物超硬材料有限公司


  摘要:本实用新型公开了微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,包括化学气相沉积反应室,该化学气相沉积反应室的上端设置有排气通道,同时在其下端还设置有进气装置,在化学气相沉积反应室的内部还设置有拉丝主体,该拉丝主体上还连接有电源;拉丝主体包括拉丝模、设置于拉丝模下端的耐高温支撑装置,在该拉丝模的上下两端与其相差3mm~5mm的位置还分别设置有上加热丝与下加热丝,上加热丝与下加热丝的两端分别连接有一号电极与二号电极。本实用新型提供一种微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,大大增长了模具的使用寿命、提高了尺寸精度以及线材或管材表面质量,能够使微小孔径拉丝模内孔表面金刚石涂层均匀,增强了涂层与基体结合能力,且涂层后的孔型圆整度较好。


  独立权利要求:1.微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,包括化学气相沉积反应室(1),该化学气相沉积反应室(1)的上端设置有排气通道(2),同时在其下端还设置有进气装置,在化学气相沉积反应室(1)的内部还设置有拉丝主体(3),该拉丝主体(3)上还连接有电源。


  2.根据权利要求1所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述进气装置包括气体分布器(4)以及通过输气管与其相连的混气室(6),在该混气室(6)上还设置有另外三根进气管(7),且三根进气管(7)的另一端分别连接有甲烷储气罐、氢气储气罐以及氩气储气罐。


  3.根据权利要求2所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述进气管(7)上分别设置有气体流量计,该气体分布器(4)成漏斗状且开口朝上设置。


  4.根据权利要求3所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述排气通道(2)的另一端设置有机械泵。


  5.根据权利要求4所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述拉丝主体(3)包括拉丝模(9)、设置于拉丝模(9)下端的耐高温支撑装置(14),在该拉丝模(9)的上下两端与其相差3mm~5mm的位置还分别设置有上加热丝(10)与下加热丝(13),上加热丝(10)与下加热丝(13)的两端分别连接有一号电极(12)与二号电极(15)。


  6.根据权利要求5所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述拉丝模(9)的数量至少为一个,且成阵列设置于耐高温支撑装置(14)上,该拉丝模(9)成圆柱状,在其内部设置有大口向下的漏斗状通孔,同时在该拉丝模(9)的非工作表面涂有用于绝缘的SiO2涂层。


  7.根据权利要求6所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述一号电极(12)与二号电极(15)设置于拉丝模(9)轴向两端,且与拉丝模(9) 的轴线处于同一平面,且设置于一号电极(12)与二号电极(15)之间的上加热丝(10)的直径为0.15mm-0.30mm,同时下加热丝(13)的直径为0.30mm-0.60mm,且其材料为钨丝或钽丝。


  8.根据权利要求7所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述一号电极(12)的两端还分别设置有一根耐高温弹簧(11),该耐高温弹簧(11)的材料为钨丝。


  9.根据权利要求8所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述电源包括加热电源(5)与偏压电源(8),加热电源(5)的两极分别与上加热丝(10)以及下加热丝(13)的两端相连,偏压电源(8)的正极连接在耐高温支撑装置(14)上,且该偏压电源(8)的负极连接在加热丝上。


  10.根据权利要求9所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置,其特征在于,所述耐高温支撑装置(14)的材料为钨钼合金。

 
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